做好这⚵🕲些,他朝众人大笑着说:“我们大家都知道共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频🛷率一致,就会产生共振现象。倘若这台光刻机主体系统的电磁杂波频率跟激光的频率一致……”
“激光也会产生共振现象!”这时,在场的所有人都异口🟖🝈同声的说道🌒⚍。
在场的众人都技术员,普通物理知识还是知道一🚒💴些的。他们这些🞵人,也包括许振鸣都瞬间听懂了郝宁教授的理论。
“既然这样,咱们还愣着干啥,♎开始干活吧!”许振鸣现在的心情很不错,笑嘻嘻的朝大伙儿扫了一眼。
“哈哈…原来是波的问题!”
“就是不知道是哪套系统的波🏬🝌有问题?还是电🙲🎑磁杂波有问题?🈨🀶”
技术员们开着玩笑,开始拆😴🅥卸接在主体系统上的传感器。
他们准备把这🖏套传感器🐉接到激光光路系统上面,🚒💴测试一下这套激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率,工作站的电脑里早就有了数据。
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就这样,一个小时以后,两😴🅥套系统的测试数据已经被打印出来。
“许董,原来是📙🛐震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动波🞴😕频率非常接近,肯会产生共振现象。”万宁🏳🞆古扬了扬手中的a4打印纸,脸上露出开心笑。
这一番折腾下来,他🝈都操碎😴🅥了心。现在能准确定位这台光刻机故障缺陷📅😞的原因,他怎么能不喜出望外?
许振鸣也🏇😂是如此。通过这一番的科普,他对第三代krf光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通,要是去忽悠外行人,保准没问题。
更深层的原因是,许振鸣通过这一番实验🅖🆡👅,对这🚒💴台国产第三代光刻机的性能有把握。
“我们集团公司总算跨出了那么一小步。国产第一台krf光刻机将会在不久的未来诞生,而🈵💕且就诞生在我的手中。嘿嘿……”许振鸣笑的也很开🎟心。